2016年全国青年摩擦学学术会议 专访中国科学院院士雒建斌:中国摩擦学已达世界先进水平 专访中国科学院院士雒建斌:中国摩擦学已达世界先进水平
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三维表面形貌仪

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三维表面形貌仪

  双模式三维表面形貌仪是集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测

项目简述

参数说明

1、双模式三维表面形貌仪——共焦

快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。

使用高数值孔径(0.95)以及高倍数的(150X)3D全视野3D镜头,用以表征坡度分析(最大斜率<干涉测量>:72ovs44o)

具有光学形貌上最高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机,空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的最佳配置。

在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制(0.1%-100%)

应用于透明层/薄膜。

兼容亮视野&暗视野;光学DIC。

长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。

独有的稳定性。

 

2、双模式三维表面形貌仪——干涉仪(WLI)

Z向高分辨率,亚纳米级

兼具相移(PSI)以及垂直扫描(VSI)模式

Z向分辨率可独立放大

四色CCD相机,用户可自选的LED光源(白光,绿光,蓝光和红光)

高达五百万像素的可自动分辨的CCD相机

快速处理器在业界位于领先水平

自动对焦

 

3、双模式三维表面形貌仪——原子力显微镜

探针扫描可用于大型模板

X,Y,Z三向可达原子级分辨

大压电探针扫描XY:达到110x110um

4、双模式三维表面形貌仪——变焦

粗糙度表面分析

快速分析

特点:一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪+高精度原子力显微镜